完善的真空系统是由真空泵或真空机组以及各种管路、测量装置、阀门、电气控制系统等一系列的配套辅助元件设施一同构成的。螺杆真空泵厂家就来简单介绍一下其中常见的真空机组分类以及应用领域。

珂勒曦罗茨螺杆真空机组

真空机组一般根据主泵的类型来命名，然后可根据产品特点来进行分类，如含油真空机组与无油真空机组；更常见的，是按真空应用范围来，可分为低真空机组、中真空泵机组、高真空机组及超高真空机组。

低真空机组工作压力高、排气量大，多用于真空输送、真空浸渍、真空过滤、真空干燥机真空脱气等。低真空机组常用的主泵，容积式真空泵中的往复泵、水环泵、油封机械泵、螺杆真空泵、湿式罗茨泵以及喷射泵、分子筛吸附泵等这些直排大气型的真空泵都可以胜任，但根据被抽气体的清洁程度、湿度及其他条件，需配置除尘器、气水油水分离器、干燥阱等设施。

中真空机组，适用于需要大抽速和获得中真空的各种真空系统中，如镀膜机、真空冶炼、真空热处理及医药化工、电工焊接等行业。以往中真空机组由罗茨真空泵+油封机械泵、罗茨真空+水环真空泵以及双罗茨真空泵这样的组合居多。随着螺杆真空泵这样的无油真空泵的兴起，罗茨真空泵+螺杆真空泵这样的无油真空机组也逐渐增多，适应性更广。

高真空机组工作于分子流状态下，工作压力区间在10^-2～10^-6Pa，排量小、抽速大，一般情况下主泵由扩散泵、分子泵、钛升华泵以及低温冷凝泵等来承担，由于它们无法直接在大气下工作，因此必须配置前级泵、预抽泵等，特殊情况下为防止气压波动还需要配置维持泵与储气罐等。

超高真空机组工作压力区间在10^-6～10^-10Pa，需要主泵的极限真空要在10^-7～10^-8Pa以上且在工作压力区间内保证相应的抽速，如溅射离子泵、涡轮分子泵等，而且对系统组成的材料要求能经受200～450℃高温烘烤并保证低漏气率与出气率等等。

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